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El nitruro de silicio también se puede aplicar a las células solares. Después de que la película de nitruro de silicio se platea con PECVD, no solo puede usarse como película antirreflectante para reducir el reflejo de la luz incidente, sino que también, en el proceso de deposición de la película de nitruro de silicio, entran átomos de hidrógeno La película de nitruro de silicio y la oblea de silicio. Actúa como un defecto de pasivación. En este caso, la proporción del número atómico del nitrógeno del nitruro de silicio no es estrictamente 4: 3, sino que varía dentro de un cierto rango dependiendo de las condiciones del proceso, y las propiedades físicas de la película correspondientes a diferentes relaciones atómicas son diferentes.
Para turbinas de gas de temperatura ultra alta, motores de avión, hornos eléctricos, etc.
